SETO 1.60 Photochromic Lens SHMC

1) Kas ir vērpšanas pārklājums?

Spin pārklājums ir procedūra, ko izmanto, lai uz plakanām pamatnēm uzklātu vienmērīgas plānas kārtiņas.Parasti neliels daudzums pārklājuma materiāla tiek uzklāts uz pamatnes centra, kas vai nu griežas ar mazu ātrumu, vai negriežas vispār.Pēc tam substrāts tiek pagriezts ar ātrumu līdz 10 000 apgr./min, lai ar centrbēdzes spēku izplatītu pārklājuma materiālu.Mašīnu, ko izmanto vērpšanai, sauc par vērpšanas pārklājumu vai vienkārši vērpēju.
Rotācija tiek turpināta, kamēr šķidrums griežas no pamatnes malām, līdz tiek sasniegts vēlamais plēves biezums.Izmantotais šķīdinātājs parasti ir gaistošs un vienlaikus iztvaiko.Jo lielāks ir griešanās leņķiskais ātrums, jo plānāka ir plēve.Plēves biezums ir atkarīgs arī no šķīduma viskozitātes un koncentrācijas, un šķīdinātāja.[2]Novatorisku vērpšanas pārklājuma teorētisko analīzi veica Emslijs et al., un to paplašināja daudzi nākamie autori (tostarp Vilsons et al., [4], kuri pētīja izkliedes ātrumu vērpšanas pārklājumā; un Danglad-Flores et al., [5], kurš atrada universālu aprakstu, lai prognozētu nogulsnētās plēves biezumu).
Spin pārklājums tiek plaši izmantots funkcionālo oksīda slāņu mikroizgatavošanā uz stikla vai monokristāla substrātiem, izmantojot sola-gēla prekursorus, kur to var izmantot, lai izveidotu vienotas plānas kārtiņas ar nanomēroga biezumu.[6]To intensīvi izmanto fotolitogrāfijā, lai uzklātu apmēram 1 mikrometru biezus fotorezista slāņus.Fotorezistu parasti griež ar 20 līdz 80 apgriezieniem sekundē 30 līdz 60 sekundes.To plaši izmanto arī plakanu fotonisku struktūru izgatavošanai no polimēriem.
Viena no priekšrocībām, kas paredzēta plānu kārtiņu pārklāšanai, ir plēves biezuma vienmērīgums.Pašlīmeņošanās dēļ biezumi nemainās vairāk par 1%.Tomēr, griežot, pārklājot biezākas polimēru un fotorezistu plēves, var iegūt salīdzinoši lielas malas lodītes, kuru planarizācijai ir fiziskas robežas.